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什么叫光刻机_光刻机是干什么的

2024-05-22 16:31 来源:网络

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什么叫光刻机?

光刻机究竟是何方神圣?其功能核心是什么呢?其实,光刻机被誉为现代光学产业的璀璨明珠,更是半导体行业的关键技术,它亦称作掩模对准曝光机或是光刻系统。该设备利用光线来实施图形制作工艺,将掩模板上的图案精确地转移到光刻胶上,进而将器件或电路结构临时复刻至硅片之上。这一过程涉及硅片表面清洁干燥、底层涂抹、光刻胶旋涂、预烘、精准对准与曝光、后烘、显影、硬化、蚀刻等一系列复杂步骤。

换言之,光刻机实际上就是用于制造芯片的关键工具。如今,无论是智能手机还是电脑,内部都离不开芯片的存在。若没有光刻机,便无法生产和制造这些电子产品。

目前,全球能够生产光刻机的企业屈指可数,而在自主研发并生产芯片所使用的光刻机领域,仅有日本的佳能与尼康,以及荷兰的ASML公司具备此能力。即便科学技术最为先进的美国,当前也无法独立完整地制造出光刻机,只能通过参股ASML公司的方式参与其中。

当下的全球顶尖光刻机由荷兰ASML公司研发制造,相比之下,佳能和尼康则只能生产较低端的产品;事实上,佳能和尼康已逐渐退出市场竞争。技术层面而言,ASML处于全球领先地位,其生产的光刻机能够采用波长仅为13.5纳米的极紫外光(EUV)技术,实现从14纳米、10纳米到7纳米制程的芯片生产,并且随着技术的升级迭代,还能进一步满足9纳米、8纳米、6纳米、5纳米、4纳米乃至3纳米等更先进制程的芯片制造需求。

光刻机是干什么的?

光刻机作为芯片制造的关键装备之一,其种类多样,包括服务于生产环节的光刻机,专用于LED制造领域的光刻机,以及应用于封装阶段的光刻机。该设备运用类似于照片冲洗的技术原理,借助光线的曝光作用,将掩模版上微细的图形精确复制并转移到硅片之上。

在芯片制造过程中,光刻机利用一系列光源能量调控及形状控制技术,引导光线透过描绘了电路布局的掩模,经过物镜系统对各类光学误差进行修正补偿,进而将线路图案按比例缩小并投射至硅片表面。之后,通过化学显影的方式,这些线路图案便被固化在了硅片之中,形成了微观的电路图形。

值得一提的是,光刻机堪称芯片行业中极具价值且技术含量最高的机械设备之一。

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