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中国大陆目前的批量生产技术以14纳米最为先进，但其产量尚未达到大规模水平。
由于光刻机的限制，7纳米制程一直未能实现商业化量产，尽管该技术本身已经具备。
截至目前，国内尚未成功研发出用于生产7纳米芯片的光刻机，这种高端设备技术被称为极紫外光刻技术。全球范围内，能掌握极紫外光刻机制造能力的仅荷兰的阿斯麦（ASML）一家，尽管它本质上是一个整合全球顶尖技术的组装企业。极紫外光刻机的复杂性体现在其集成了来自世界各地的高科技部件，包括美国的光源系统、德国的精密镜头、法国的机械臂以及英国的高性能电机等，每一部分都要求极高的精确度，这构成了极大的技术挑战，也是我国至今未能自主研发成功的原因之一。
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