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光刻系统是芯片制造的关键部分,用于将电路图从掩模转移到硅片上。光刻是半导体芯片制造过程中最重要、最复杂的步骤之一,需要耗费大量时间和资金。光刻的工艺水平直接决定了芯片制程和性能的水平。
高级光刻机是现代光学工业的瑰宝,制造难度极高。目前,ASML的最先进的EUV极紫外线光刻机已经能够制造出5nm制程的芯片,而单台光刻机的售价已经超过1亿美元。与此相比,中国目前自主生产的光刻机只能达到90nm制程,差距很大。
光刻机的研制困难主要体现在系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多个先进技术方面,是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备。
为了能够获得世界上最先进的技术,在ASML的光刻机中超过90%的零件都是外部采购的。ASML汇集了来自世界各地最前沿的科技,如德国的机械工艺、德国顶级的蔡司镜头、美国的光源和计量设备等。因此,可以说ASML的高级光刻机是“集人类智慧大成的产物”。
目前,国内的芯片生产仍然存在短板。然而,中国科学院攻克了光刻技术,使得国产芯片有望在竞争中取得领先。这一消息对光刻机概念股产生了积极的影响,预计这些股票将获得上涨。
中国科学院苏州纳米与纳米仿生研究发表了一种新型的5nm光刻加工方法。与目前主流的光刻加工技术相比,中科院研发的纳米光刻技术能够更快速地进行加工,并且可以实现更大规模的生产。此外,该技术所涉及的材料范围也更广泛。有专家分析,一旦这项技术成熟,将直接应用于碳基芯片生产,从而有望使中国芯片实现领先。
在2020年,光刻机概念股包括张江高科、奥普光电、福晶科技、英唐智控、智光电气、蓝英装备和上海新阳等公司。
英唐智控公司在2019年实现了总营业收入119.5亿,同比下降1.4%;归母净利润为2856.5万,同比下降79.7%。而今年一季度,该公司的总营业收入为19.6亿,同比下降23.2%;归母净利润为-3917万,同比下降超过186%。该公司2019年的营业成本为110.7亿,同比下降了1.1%。期间费用率为5.6%,与去年相比变化不大。
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